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與濕法腐蝕比較，以下是干法刻蝕的優點是

1、 與濕法腐蝕比較，以下是干法刻蝕的優點是：

A、保真度好，圖形分辨率高；

B、高選擇比

C、速度快

D、設備簡單

答案：A

2、根據擴散源的不同，有三種不同擴散工藝，以下不是的是 。

A、固態源擴散

B、液態源擴散

C、替位式擴散

D、氣態源擴散

答案：C